2024-12-20
FIB技术定义 聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)技术是一种先进的微纳加工技术,它利用高度聚焦的离子束对材料进行精确的加工、分析和成像。FIB技术能够在纳米尺度上实现材料的去除、沉积以及成像,广泛应用于材料科学、微电子、纳米技术等领域。 FIB系统的基本构成 离子源:负责产生离子流,通常使用液态金属离子源,如液态镓。 加速和偏转系统:加速离子并控制离子束的方向和形状。 样品室:放置样品,通常在高真空环境下以保持离子束的稳定性。 检测系统:收集由离子束与样品交互产生的信号,...